技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 > HMDS真空烘箱,HMDS處理系統的藥液泄漏處理方法

                      HMDS真空烘箱,HMDS處理系統的藥液泄漏處理方法

                      發布時間:2017-06-19   點擊次數:3341次

                      HMDS真空烘箱,HMDS處理系統中HMDS泄漏處理方法

                      1.在污染區尚未完全清理干凈前,限制人員接近該區。
                      2.確定清理工作是由受過訓練的人員負責。
                      3.穿戴適當的個人防護裝備.
                      4.對該區域進行通風換氣。
                      環境注意事項:抽氣通風,移走撤離關閉所有可能之熱源、火星、火花與火焰等之引火源與點火裝置,若大量泄漏時先將泄漏區圍堵避免擴散。
                      HMDS清理方法:
                      少量泄漏時:以惰性吸收/吸附材料吸取泄漏物。
                      大量泄漏時:將泄漏區域圍堵,小心地道引將泄漏物抽取回收集桶。

                      雋思HMDS真空烘箱,HMDS處理系統主要用途:

                        在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導致光刻圖形轉移的失敗,同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后,經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起著偶聯劑的作用。

                      HMDS真空烘箱,HMDS處理系統技術參數:

                      電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

                      輸入功率:2200W

                      溫度范圍:RT+10℃-250℃

                      溫度分辨率:0.1℃

                      溫度波動度:±1℃

                      達到真空度:133Pa(1torr)

                      工作室尺寸(mm):450*450*450,550*550*350(可定做)

                      雋思HMDS真空烘箱,上海雋思HMDS處理系統特點:

                      1、預處理性能更好

                      2、處理更加均勻

                      3、效率高

                      4、更加節省藥液

                      5、更加環保和安全   

                      6、高安全保護性能

                      a.低液報警裝置 

                      b.可自動吸取HMDS功能, 

                      c.可自動添加HMDS功能, 

                      d.HMDS藥液泄漏報警功能,

                      HMDS安全處置與儲存方法:
                      處置:HMDS易產生靜電,搬運時將所有設備與容器適當接地,并須固定牢固,避免吸入蒸氣及接觸眼睛與皮膚。
                      存儲:置于陰涼、干燥、通風處、緊蓋容器,遠離各種可能之熱源、火星、火花與火焰等之引火源與點火裝置,避免吸入蒸氣及接觸眼睛與皮膚。

                      分享到:

                      返回列表返回頂部
                      COPYRIGHT @ 2016 網站地圖    滬ICP備16022591號-1   

                      上海雋思實驗儀器有限公司主營產品:無氧化烘箱,精密熱風烘箱,晶元烘箱,百級氮氣烤箱,無氧烤箱
                      地址:上海奉賢柘林工業區3213號

                      環保在線

                      推薦收藏該企業網站
                      自拍中文字幕亚洲先锋影音,欧美,日产,国产综合图片,寂寞的人妻少妇视频,日韩亚洲国产范冰冰,国产女主播精品大秀系列,亚洲国产在线播结合,亚洲素人字幕在线最新