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                      無氧烘箱,無氧化烘箱
                      無氧烘箱,無氧化烘箱

                      無氧烘箱,無氧化烘箱在半導體集成電路制造過程中,晶圓表面預處理、涂膠、曝光前后的烘焙即曝光后烘烤(PostExposureBake,PEB)、對準、顯影、顯影后烘焙等因素都會對光刻工藝效果帶來顯著影響

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                      PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐
                      PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐

                      PI固化厭氧烘箱,聚酰亞胺固化爐多次實驗后采用階梯升溫過程,亞胺化效果zui佳。采用程控烘箱進行亞胺化,烘箱內為純N2氛圍.

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                      充氮厭氧烘箱,450度厭氧固化爐
                      充氮厭氧烘箱,450度厭氧固化爐

                      充氮厭氧烘箱,450度厭氧固化爐應用于精密電子元件、聚酰亞胺層(PI)固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料烘干的特殊工藝要求,模擬線性升降溫環境,特別適合半導體制造、MEMS制作、工藝COB封裝、醫療衛生、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求。

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                      無氧烘箱,10ppm無氧高溫烘箱
                      無氧烘箱,10ppm無氧高溫烘箱

                      無氧烘箱,10ppm無氧高溫烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,形成高溫、低氧(無氧)、潔凈環境,特別適合半導體制造、COB封裝、IC封裝、醫療衛生、石英玻璃、柔性線路板印刷、精密模具煺火等行業的無氧化干燥烘烤工藝要求.

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                      高溫厭氧烘箱,厭氧固化烤箱
                      高溫厭氧烘箱,厭氧固化烤箱

                      高溫厭氧烘箱,厭氧固化烤箱將封閉腔內持續加熱到預設溫度后,進入保溫加熱控制狀態,電子元件在均勻的溫度下進行固化,提高電子元件的質量;也可滿足大容量烤箱的生產要求,提高了生產效率。

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                      厭氧烘箱,厭氧固化烘箱
                      厭氧烘箱,厭氧固化烘箱

                      厭氧烘箱,厭氧固化烘箱主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。

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                      堅膜無塵烤箱,半導體無塵烘箱
                      堅膜無塵烤箱,半導體無塵烘箱

                      堅膜無塵烤箱,半導體無塵烘箱?用于高精度硅上薄膜電阻制造過程中堅膜工藝。也用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤。

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